兩大重點項目落戶錫山 超純水助力中國“芯”發(fā)力

　　無錫錫山集成電路設備產業(yè)園是以打造錫山“四新四強”產業(yè)集群為重點的特色專業(yè)園區(qū)。去年以來，錫山確立了“產業(yè)集群+特色專業(yè)園”的發(fā)展模式，圍繞“四新四強”產業(yè)集群規(guī)劃建設了19個特色專業(yè)園，其中“一中心、兩基地、兩園區(qū)”的產業(yè)發(fā)展新格局將圍繞集成電路行業(yè)建設。

　　集成電路的集成度越高，對水質的要求就越高。這種集成電路相當于電子工業(yè)的“大腦”。雖然它只有指甲那么大，但數(shù)十億納米級晶體管應該放在集成電路板上。在集成電路生產中，80%以上的工藝需要化學處理，而每一種化學處理都離不開水。因此，半導體行業(yè)對生產用水的水質也有非常嚴格的要求，因為一旦水質不合格或水中含有雜質，就會降低器件的性能和產量。因此，生產中需要使用超純水。集成電路行業(yè)使用的水是否合格也決定了產品能否獲勝。

　　傳統(tǒng)的超純水制備工藝通常采用離子交換樹脂制備，但離子交換樹脂的關閉需要樹脂再生，這需要耗費物力和人力。然而，經過多年的實踐，萊特萊德公司結合膜分離技術，采用反滲透結合EDI裝置和精混床的工藝制備超純水，其出水電阻率可達18MΩ·cm(25℃)，有助于中國“芯”的發(fā)展。

　　集成電路產業(yè)是信息技術發(fā)展的基石。無錫是中國集成電路產業(yè)的搖籃。集成電路產業(yè)鏈完整，配套設施完善，內幕信息深刻。在此背景下，無錫錫山集成電路設備產業(yè)園應運而生，并將努力打造成為無錫乃至江蘇省具有核心競爭力的集成電路特色專業(yè)園。江蘇省半導體工業(yè)協(xié)會也將積極參與并為園區(qū)的發(fā)展做出貢獻。