目前,我國(guó)已將光伏產(chǎn)業(yè)列為國(guó)家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)之一,在產(chǎn)業(yè)政策引導(dǎo)和市場(chǎng)需求驅(qū)動(dòng)的雙重作用下,我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了快速發(fā)展,已成為具備國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)業(yè),在制造規(guī)模、技術(shù)水平和市場(chǎng)份額等方面均位居全球前列。(新聞來(lái)源:賢集網(wǎng))
在光伏集成電路生產(chǎn)中,超純水主要用于清洗硅片,少量水用于藥水配制、硅片氧化的水蒸氣源、部分設(shè)備的冷卻水、電鍍液的配制。集成電路產(chǎn)品的質(zhì)量與產(chǎn)量密切相關(guān)。水中的堿金屬(K、Na等)會(huì)使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會(huì)使PN結(jié)耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會(huì)使N型半導(dǎo)體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會(huì)使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會(huì)使P型硅片上的局部區(qū)域變化為N型硅而導(dǎo)致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會(huì)引起電路短路或特性變差。可見(jiàn),超純水在太陽(yáng)能光伏電池行業(yè)中的必要性。
傳統(tǒng)的超純水處理工藝為單級(jí)/雙級(jí)反滲透設(shè)備+混床。其缺點(diǎn)是需要再生,不能連續(xù)產(chǎn)水,不僅效率低,而且浪費(fèi)資源。萊特萊德經(jīng)過(guò)多年實(shí)踐,同時(shí)結(jié)合膜分離技術(shù),采用反滲透加EDI相結(jié)合的工藝來(lái)制取超純水,該工藝與傳統(tǒng)工藝相比具有運(yùn)行成本低的優(yōu)點(diǎn)(離子交換器的再生周期大大延長(zhǎng)),運(yùn)行可靠。萊特萊德超純水設(shè)備出水水質(zhì)符合美國(guó)ASTM D5127電子及半導(dǎo)體工業(yè)用純水水質(zhì)TypeE-1.2,高于中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-1997EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn)。
萊特萊德超純水系統(tǒng)中反滲透采用曲線微導(dǎo)力技術(shù)將水中的離子分離。實(shí)現(xiàn)凈化水質(zhì),減少水中的離子,降低水中離子的含量的目的。結(jié)合預(yù)處理系統(tǒng)、加藥系統(tǒng)等,可實(shí)現(xiàn)超純水的預(yù)脫鹽。
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